QUATRON-L

lineare Plasmastrahlquelle

Merkmale und Beschreibung

Lineare skalierbare Plasmastrahlquelle QUATRON-L für den Einsatz in verschiedenen Beschichtungsanlagen. Die Strahllänge der Quelle wird durch die Substratdimensionen bestimmt und die Breite (kürzere Seite des Strahls) hängt von der thermischen Belastung auf das Extraktionsnetz bzw. vom Platz und dem Gewicht der Quelle ab.

QUATRON-L - Technische Daten

Strahllänge
270 mm (QUATRON-L 270)
600 mm (QUATRON-L 600)
800 mm (QUATRON-L 800)
Strahlbreite
140 mm (QUATRON-L 270)
100 mm (QUATRON-L 600)
100 mm (QUATRON-L 800)
Druckbereich
2 * 10E-3 ... 1 * 10E-5 mbar
Gas
alle Gase
RF-Leistung, max
5000 Watt
Energie bis zu
2000 eV
Stromdichte, bis zu
3,6 mA/cm²
Matching
manuell, automatisch
Extraktionsnetz
Wolfram, Edelstahl, etc...
Kühlung
Wasser
Applikationen
Bandbeschichtungsanlagen, PVD, PECVD, Ätzen, Reinigen, Polieren, etc…

* Andere Größen und Spezifikationen der QUATRON Plasmastrahlquellen auf Anfrage

Produktinformation (PDF):
QUATRON Serie

ADRESSE

HS-Group GmbH
Porschestrasse 12
63512 Hainburg
Germany

Tel. +49 6182 - 93 51 0
Fax +49 6182 - 93 51 11

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