Lineare skalierbare Plasmastrahlquelle QUATRON-L für den Einsatz in verschiedenen Beschichtungsanlagen. Die Strahllänge der Quelle wird durch die Substratdimensionen bestimmt und die Breite (kürzere Seite des Strahls) hängt von der thermischen Belastung auf das Extraktionsnetz bzw. vom Platz und dem Gewicht der Quelle ab.
QUATRON-L - Technische Daten
Strahllänge
270 mm (QUATRON-L 270) 600 mm (QUATRON-L 600) 800 mm (QUATRON-L 800)
Strahlbreite
140 mm (QUATRON-L 270) 100 mm (QUATRON-L 600) 100 mm (QUATRON-L 800)
