DELTALINE

DELTALINE - Serie

Inline Sputter Vakuumanlage

Das DELTALINE Inline-Konzept ist unsere Antwort für anspruchsvolle Dünnschichten die durch Magnetron-Sputtern, PECVD Prozesse oder thermisches Verdampfen hergestellt werden sollen. Die Anlagen können als Batch- oder hochproduktive Durchlaufanlagen konfiguriert werden. Das modulare Design erlaubt eine optimale Anpassung auf die Bedürfnisse unserer Kunden.

Die Anlagen der DELTALINE Serie unterscheiden sich zunächst durch die Ausrichtung des Substrates. Bei DELTALINE-H Anlagen wird das Substrat horizontal durch die Anlage bewegt und die Behandlung oder Beschichtung findet von oben oder unten statt. Bei DELTALINE-V Anlagen wird das Substrat vertikal durch die Anlage bewegt und die Behandlung findet seitlich statt.

Typische Anwendungsbeschreibung

Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) - oder auf Deutsch, die Kathodenzerstäubung - ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen) herausgelöst werden und in die Gasphase übergehen.
Unter dem Begriff Sputtern wird meistens nur die Sputterdeposition, eine zur Gruppe der PVD Verfahren gehörende hochvakuumbasierende Beschichtungstechnik, verstanden. Weiterhin kommt das Sputtern in der Oberflächenphysik als Reinigungsverfahren zur Präparation hochreiner Oberflächen und als Verfahren zur Analyse der chemischen Zusammensetzung von Oberflächen zum Einsatz. Die DELTALINE Serie ist eine sehr flexible F&E und Produktionsanlage für solche Dünnschichtprozesse.

Typische Anwendungsgebiete

  • Architektur und Bauwesen
  • Displayanwendungen
  • Optische Industrie
  • Medizintechnik
  • Dekoration und Schmuck
  • Elektronikindustrie
  • Lichttechnik

ADRESSE

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