Typische Anwendungsbeschreibung

Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) - oder auf Deutsch, die Kathodenzerstäubung - ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen) herausgelöst werden und in die Gasphase übergehen.
Unter dem Begriff Sputtern wird meistens nur die Sputterdeposition, eine zur Gruppe der PVD Verfahren gehörende hochvakuumbasierende Beschichtungstechnik, verstanden. Weiterhin kommt das Sputtern in der Oberflächenphysik als Reinigungsverfahren zur Präparation hochreiner Oberflächen und als Verfahren zur Analyse der chemischen Zusammensetzung von Oberflächen zum Einsatz. Die DELTALINE Serie ist eine sehr flexible F&E und Produktionsanlage für solche Dünnschichtprozesse.