für Schichtdickenmessung
Der 6-fach Quarzwechsler Typ QCC-6.1 kann bis zu 6 Schwingquarze aufnehmen. Über verschiedene Steuerungsadapter kann der Wechsler an unterschiedliche Beschichtungsanlagen im Markt angepasst werden.
Anschlüsse
1 x 10-polige Buchse für Steuerkabel
1 x BNC Buchse für Oszillatoranschluß
1 x Masseanschluss
2 x Kühlwasseranschluss
1 x Anschluss für Helium-Lecksuche
Max. Arbeitstemperatur | 350 °C |
Gesamtlänge | 432 mm (Teile-Nr. KTX5003600) 600 mm (Teile-Nr. KTX5003620) |
Eintauchtiefe in Kammer | 0 ... 361 mm (Teile-Nr. KTX5003600) 0 ... 529 mm (Teile-Nr. KTX5003620) |
Wechsler Aussendurchmesser | 59 mm |
Kühlwasseranschluss | G 1/8" |
Kühlwasseranforderung | 4 l/min |
Max. Betriebstemperatur | 18 °C |
Min. Betriebstemperatur | 30 °C |
Gewicht | 3,8 kg (Teile-Nr. KTX5003600) 5,2 kg (Teile-Nr. KTX5003620) |
Schwingquarz-Durchmesser | 14 mm |
Anzahl der Schwingquarze | 6 |